20世紀(jì)60年代和70年代初,美國(guó)一直是芯片市場(chǎng)的霸主。但到80年代,日本憑借DRAM成功崛起。美國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)隨著半導(dǎo)體主要市場(chǎng)的變化遭受重?fù)簟狦CA落寞,尼康壯大。為了繼續(xù)鞏固美國(guó)芯片市場(chǎng),1997年,英特爾和美國(guó)能源部牽頭成立了的EUV LLC聯(lián)盟,希望能研發(fā)出EUV(極紫外線)光刻機(jī),重拾半導(dǎo)體制霸權(quán)。這個(gè)聯(lián)盟有美國(guó)能源部及其下屬三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室,還有英特爾和摩托羅拉、AMD、IBM等科技公司,阿斯麥也成功入伙。作為回報(bào),阿斯麥將替美國(guó)把光刻機(jī)龍頭的桂冠從尼康頭上摘下。
2004年,阿斯麥和臺(tái)積電合作一年后,推出了第一臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)樣機(jī),波長(zhǎng)能達(dá)到132nm,率先攻克芯片制程卡頓,并一舉拿下IBM和臺(tái)積電等大客戶的訂單。尼康雖然很快也推出了干式微影光刻機(jī)產(chǎn)品,但其光源只能做到157納米,顯然阿斯麥更勝一籌。到2007年,阿斯麥的光刻機(jī)市場(chǎng)份額已達(dá)到60%,首次超過(guò)尼康。
而真正讓阿斯麥封神的,還是獨(dú)門的EUV(極紫外線)光刻機(jī)。經(jīng)過(guò)10年的研發(fā),EUV聯(lián)盟的幾百位科學(xué)家努力,及52.29億歐元投入,阿斯麥將EUV做到可量產(chǎn),成為全球唯一一家具備推出光刻機(jī)產(chǎn)品的公司。尼康其實(shí)也懂EUV技術(shù),但他們的技術(shù)也只能在實(shí)驗(yàn)室里走起來(lái)。自此,阿斯麥穩(wěn)穩(wěn)成為半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域的霸主,無(wú)可撼動(dòng)。
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