20世紀(jì)60年代和70年代初，美國(guó)一直是芯片市場(chǎng)的霸主。但到80年代，日本憑借DRAM成功崛起。美國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)隨著半導(dǎo)體主要市場(chǎng)的變化遭受重?fù)簟狦CA落寞，尼康壯大。為了繼續(xù)鞏固美國(guó)芯片市場(chǎng)，1997年，英特爾和美國(guó)能源部牽頭成立了的EUV LLC聯(lián)盟，希望能研發(fā)出EUV(極紫外線)光刻機(jī)，重拾半導(dǎo)體制霸權(quán)。這個(gè)聯(lián)盟有美國(guó)能源部及其下屬三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室，還有英特爾和摩托羅拉、AMD、IBM等科技公司，阿斯麥也成功入伙。作為回報(bào)，阿斯麥將替美國(guó)把光刻機(jī)龍頭的桂冠從尼康頭上摘下。

2004年，阿斯麥和臺(tái)積電合作一年后，推出了第一臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)樣機(jī)，波長(zhǎng)能達(dá)到132nm，率先攻克芯片制程卡頓，并一舉拿下IBM和臺(tái)積電等大客戶的訂單。尼康雖然很快也推出了干式微影光刻機(jī)產(chǎn)品，但其光源只能做到157納米，顯然阿斯麥更勝一籌。到2007年，阿斯麥的光刻機(jī)市場(chǎng)份額已達(dá)到60%，首次超過(guò)尼康。

而真正讓阿斯麥封神的，還是獨(dú)門的EUV（極紫外線）光刻機(jī)。經(jīng)過(guò)10年的研發(fā)，EUV聯(lián)盟的幾百位科學(xué)家努力，及52.29億歐元投入，阿斯麥將EUV做到可量產(chǎn)，成為全球唯一一家具備推出光刻機(jī)產(chǎn)品的公司。尼康其實(shí)也懂EUV技術(shù)，但他們的技術(shù)也只能在實(shí)驗(yàn)室里走起來(lái)。自此，阿斯麥穩(wěn)穩(wěn)成為半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域的霸主，無(wú)可撼動(dòng)。

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